帶有 KTE 7 軟件的吉時(shí)利 S530 系列參數(shù)測試系統(tǒng)提供高速、完全靈活的配置，能夠隨著新應(yīng)用的出現(xiàn)和需求變化而不斷發(fā)展。S530 可進(jìn)行高達(dá) 200 V 的測試，而 S530-HV 可以在任何引腳上進(jìn)行高達(dá) 1100 V 的測試，與競爭解決方案相比，吞吐量提高了 50%。KTE 7 的新增功能是促成直接對接探測器和原有探頭卡重新使用的可選系統(tǒng)測試頭，支持汽車標(biāo)準(zhǔn) IATF-16949 要求的系統(tǒng)級 ISO-17025 引腳校準(zhǔn)，以及從原有的 S600 和 S400 系統(tǒng)進(jìn)行遷移的最簡單、最順暢的路徑，具有完整的數(shù)據(jù)關(guān)聯(lián)性并提高了速度。

540 參數(shù)測試系統(tǒng)是一個(gè)全自動化的 48 引腳參數(shù)測試系統(tǒng)，適用于高達(dá) 3kV 的功率半導(dǎo)體器件和結(jié)構(gòu)的晶片級測試。完全集成式 S540 已針對包括碳化硅 (SiC) 和氮化鎵 (GaN) 在內(nèi)的最新復(fù)合功率半導(dǎo)體材料進(jìn)行優(yōu)化，可以在單次測試觸摸中執(zhí)行所有高電壓、低電壓和電容測試。

S500 集成式測試系統(tǒng)是高度可配置的、基于儀器的系統(tǒng)，適用于器件、晶片或暗盒級半導(dǎo)體檢定。S500 集成式測試系統(tǒng)基于我們經(jīng)過驗(yàn)證的儀器，提供創(chuàng)新的測量功能和系統(tǒng)靈活性，并且根據(jù)您的需求可進(jìn)行擴(kuò)展。獨(dú)有的測量能力結(jié)合強(qiáng)大而靈活的自動化檢定套件 (ACS) 軟件，提供市場上其他同類系統(tǒng)無法提供的廣泛應(yīng)用和功能。 

S530 功能

• 靈活的探測器接口選項(xiàng)，包括測試頭，支持原有吉時(shí)利和 Keysight 裝置

• 行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的 KTE 軟件環(huán)境

• 觸摸一次探頭即可完成高壓和低壓參數(shù)的測試

• 通過全新系統(tǒng)參考單元 (SRU) 進(jìn)行全自動系統(tǒng)級校準(zhǔn)符合最新質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)

• KTE 7 中的運(yùn)行狀況檢查軟件工具最大限度地延長系統(tǒng)正常運(yùn)行時(shí)間和提高數(shù)據(jù)完整性

• 內(nèi)置的瞬態(tài)過電壓和/或過電流事件保護(hù)可最大程度地減少代價(jià)高昂的系統(tǒng)停機(jī)或?qū)斐蓳p壞

• 符合 ISO-17025 校準(zhǔn)要求并支持 IATF-16949 合規(guī)性

S535 特點(diǎn)

• 在多站點(diǎn)并行或連續(xù)運(yùn)行中自動執(zhí)行所有晶片級直流參數(shù)測試。 觸摸一次探頭測試兩個(gè)或四個(gè)站點(diǎn)。

• 多達(dá) 64 根測試針：并行測試四個(gè)站點(diǎn)，每個(gè)站點(diǎn) 16 根針；并行測試兩個(gè)站點(diǎn)，每個(gè)站點(diǎn) 32 根針；連續(xù)測試一個(gè)站點(diǎn)，64 根針

• 高達(dá) 100 W 運(yùn)行：1 A 時(shí) 100 V；100 mA 時(shí) 200 V

• 在高速、多針、完全自動的測試環(huán)境中 1 fA、10 nV 分辨率

• 基于 Linux 的 Keithley 測試環(huán)境 (KTE) 系統(tǒng)軟件兼容原有 Keithley 測試系統(tǒng)、支持輕松進(jìn)行測試開發(fā)和快速執(zhí)行。

• Keithley S530 型探頭卡基礎(chǔ)設(shè)施也支持原有的 S400 應(yīng)用

• 提供 SECS/GEM 與 300 毫米晶圓廠的集成

S540 功能

• 在單次探頭觸摸中自動在多達(dá) 48 個(gè)引腳上執(zhí)行所有晶片級參數(shù)測試，包括高電壓擊穿、電容和低電壓測量，而無需更改電纜或探頭卡基礎(chǔ)設(shè)施

• 在最高達(dá) 3kV 的條件下執(zhí)行晶體管電容測量，如 Ciss、Coss 和 Crss，而無需手動配置測試引腳

• 在高速、多引腳、全自動測試環(huán)境中實(shí)現(xiàn)低電平測量性能

• 基于 Linux 的 Keithley 測試環(huán)境 (KTE) 系統(tǒng)軟件支持輕松進(jìn)行測試開發(fā)和快速執(zhí)行

• 非常適合于過程集成、過程控制監(jiān)控和生產(chǎn)芯片分類中的全自動或半自動應(yīng)用

• 通過最大程度減少測試時(shí)間、測試設(shè)置時(shí)間和占地面積，降低擁有成本，同時(shí)實(shí)現(xiàn)實(shí)驗(yàn)室級測量性能

• 提供 SECS/GEM 與 300 毫米晶圓廠的集成

S500 功能

• 全量程源測量單元 (SMU) 儀器技術(shù)規(guī)格，包括 subfemtoamp 測量，確保在幾乎任何設(shè)備上都能執(zhí)行廣泛的測量。

• 適用于內(nèi)存檢定、電荷泵、單脈沖 PIV（電荷陷阱分析）和 PIV 掃描（自加熱回避）的脈沖生成和超快 I-V。

• 利用支持 Keithley 系統(tǒng)的可擴(kuò)展 SMU 儀器，提供低或高通道數(shù)系統(tǒng)，包括并行測試。

• 適用于測試功率 MOSFET 和顯示驅(qū)動器等測試器件的高電壓、電流和功率源測量儀器。

• 開關(guān)、探頭卡和布線保證系統(tǒng)完全適用于您的 DUT。

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