適用于半導(dǎo)體液態(tài)化學(xué)品測(cè)量

該折光儀外形緊湊，流通池采用改良超純 PTFE 而成，適用于半導(dǎo)體液態(tài)化學(xué)品測(cè)量。可通過(guò) ? 至 1 英寸的皮拉 Pillar 或擴(kuò)口 Flare 連接。

維薩拉 K-PATENTS? 半導(dǎo)體行業(yè)用折光儀 PR-23-MS 內(nèi)置的流通池由改良超純 PTFE 制成，旨在防止任何金屬和易腐蝕部件與工藝過(guò)程中的液體接觸。與液體接觸的所有部件均為改良超純 PTFE 和藍(lán)寶石棱鏡。

PR-23-MS 直接通過(guò)柱形或喇叭形配件串接進(jìn)行安裝。緊緊湊型設(shè)計(jì)方便集成到機(jī)臺(tái)或機(jī)柜里，而無(wú)需占用過(guò)多有限空間。

該折光儀通過(guò)光學(xué)原理測(cè)量溶液折射率來(lái)獲得溶液濃度。正是憑借這一原理，同一臺(tái)儀器可用于各種溶液測(cè)量。

PR-23-MS 可提供連續(xù)的 4-20 mA 或數(shù)字測(cè)量信號(hào)，并在化學(xué)物質(zhì)的濃度超出規(guī)定的范圍時(shí)向控制系統(tǒng)提供即時(shí)反饋。PR-23-MS 是一種小型設(shè)備，易于安裝，適用于散裝化學(xué)品配送、使用點(diǎn)化學(xué)品調(diào)配、制程中濃度變化監(jiān)測(cè)。

維薩拉 K-PATENTS? PR-23-MS 可幫助您實(shí)現(xiàn)：

• 防止錯(cuò)誤的化學(xué)品進(jìn)入制造流程。

• 優(yōu)化蝕刻工藝并延長(zhǎng)蝕刻液（例如加熱的 KOH）的使用時(shí)間。

• 通常可使晶圓的產(chǎn)量提高 5%，并減少 FEOL 和 BEOL 清洗工藝中清洗化學(xué)品的消耗（例如 SC-1 或 EKC-265）。

• 對(duì) CMP 漿料進(jìn)行嚴(yán)格控制，并提高拋光的均勻性。

關(guān)鍵特性：

• 標(biāo)稱準(zhǔn)確度為 0.1%（重量百分比），例如，鹽酸。對(duì)于多組分溶液，測(cè)量信號(hào)則用為各組分總和。

• 獨(dú)特光學(xué)核心構(gòu)造光學(xué)器件。 

• 雙探頭連接：一個(gè)變送器可同時(shí)連接和管理兩個(gè)傳感器，第二個(gè)傳感器可在之后輕松添加。

• 過(guò)程溫度范圍：-20°C – 150°C (-4°F – 300°F)

• 內(nèi)置 Pt1000，快速溫度測(cè)量及自動(dòng)溫度補(bǔ)償功。

• ATEX 防爆認(rèn)證，Zone 2，EX II 3 G EEx nA II T4。

• FM 防爆認(rèn)證，Class I, Div. 2, Groups A, B, C and D, T6. CSA certified for Class I, Div. 2.

• CSA 防爆認(rèn)證，Class I, Div. 2, Groups A, B, C and D, T4.

• cCSAus 電氣安全認(rèn)證，傳感器：I 類，污染等級(jí)為 3 級(jí)；變送器：I 類，污染等級(jí)為 2 級(jí)；安裝類別為 II 類。

有任何疑問，請(qǐng)及時(shí)與我們溝通！期待您的電鈴！

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