同 AWM2000 系列一樣，惠斯頓雙電橋控制氣體流量測量。AWM3000 系列具有放大功能，因此能用于提升增益和將電壓偏移引入傳感器輸出。加熱器控制電路和傳感橋供電電路位于封裝電路板上。

注意：產(chǎn)品損傷

AWM 系列微橋式氣體質(zhì)量流量傳感器不適用于測量液體流量，液體流過傳感器時會損壞傳感器。

• 補(bǔ)償溫度范圍

• -25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F]

• 流量/壓力范圍

• +200 SLPM

• ±1000 sccm (1 SLPM)

• 0 mbar 至 1.25 mbar [0 H20 至 0.5 H20]

• ±5.0 mbar [2.0 英寸 H20]

• +30.0 sccm

• 0 mbar 至 5.0 mbar [0 H20 至 2.0 H20]

• 響應(yīng)時間

• 典型值 1 ms，最大 3 ms

• 最大 60 ms

• 最大 3 ms

• 電源電壓

• 最小 8.0 Vdc，典型值 10.0 Vdc，最大 15.0 Vdc

• 8.0 Vdc 至 15.0 Vdc

• 10.0 Vdc ±0.01 Vdc

• UNSPSC 代碼

• 41111931

• 沖擊

• 100 g 峰值 (5 drops, 6 axes)

• 輸出溫漂

• ±32% 讀數(shù)

• ±24% 讀數(shù)

• ±4% 滿量程

• - 31% 讀數(shù)至 24% 讀數(shù)

• ±5% 讀數(shù)

• 零位

• 1 Vdc ±0.08 Vdc

• 1 Vdc ±0.05 Vdc

• 4 mA dc ±0.4 mA dc

• 1 Vdc ±0.10 Vdc

• 4 mA dc ±0.3 mA dc

• 3 Vdc 至 0.050 Vdc

• 端口類型

• 直

• 信號調(diào)節(jié)

•  放大

• UNSPSC 商品

• 41111931 流量傳感器

• 可重復(fù)性

• ±0.50% 讀數(shù)

• ±1% 讀數(shù)

• 調(diào)整點的輸出電壓

• 在 1000 sccm 時，5.0 Vdc (1.0 SLPM)

• 5.0 Vdc ±0.15 Vdc

• 在水中 2.0 時，5.0 Vdc

• 20.0 mA dc ±1.0 mA dc

• 在 25 sccm 時，3.4 Vdc

• 在 200 sccm 時，5.0 Vdc

• 20.0 mA dc ±1 mA dc

• 存儲溫度

• -40°C 至 90°C [-40°F 至 194°F]

• 介質(zhì)兼容性

• 僅干燥氣體

• 重量

• 10.8 g

• 系列名稱

• AWM3000

• 工作溫度

• -25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F]

• 功耗

• 典型值 50 mW

• 典型值 100 mW

• 典型值 50 mW，最大 60 mW

• 整個溫度范圍內(nèi)的零位

• ±25.0 mV dc

• ±0.050 Vdc（最大）

• ±100 mV dc

• ±2.0 mA dc（最大）

• 共模壓力

• 25 psi

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