AWM2000 系列微橋氣體質(zhì)量流量傳感器是由兩個(gè)惠斯通橋構(gòu)成的被動(dòng)裝置。根據(jù)操作規(guī)范,還需具備發(fā)熱器控制電路。根據(jù)操作規(guī)范,還需具備傳感橋供電電路。這兩種電路不在封裝電路板上,因此必須在應(yīng)用中提供。差分放大器是一個(gè)有用的傳感橋接口。它可用于增加增益并將電壓偏置引入傳感器輸出。
補(bǔ)償溫度范圍
-25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F]
流量/壓力范圍
±30.0 sccm
±1000 sccm (1 SLPM)
±10.0 mbar [4.0 H20]
±200 sccm
電源電壓
最小 8.0 Vdc,典型值 10.0 Vdc,最大 15.0 Vdc
UNSPSC 代碼
41111931
沖擊
100 g 峰值 (5 drops, 6 axes)
輸出溫漂
±5% 讀數(shù)
零位
±1 mV dc
端口類型
直
信號(hào)調(diào)節(jié)
非放大式 (mV)
傳感器電流
最大 0.6 mA
可重復(fù)性
±0.35% 讀數(shù)
±1% 讀數(shù)
UNSPSC 商品
41111931 流量傳感器
調(diào)整點(diǎn)的輸出電壓
650 sccm 時(shí),50.0 mV dc
在水中 2.0 時(shí),20.0 mV dc
25 sccm 時(shí),11.8 mV dc
100 sccm 時(shí),30.0 mV dc
存儲(chǔ)溫度
-40°C 至 90°C [-40°F 至 194°F]
介質(zhì)兼容性
僅干燥氣體
氫氣
重量
10.8 g
系列名稱
AWM2000
功耗
典型值 30 mW,最大 50 mW
工作溫度
-25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F]
整個(gè)溫度范圍內(nèi)的零位
±0.20 mV dc
響應(yīng)時(shí)間
典型值 1 ms,最大 3 ms
共模壓力
25 psi
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