利用微橋氣體質(zhì)量流量傳感器技術(shù)。AWM1000 系列氣體質(zhì)量流量傳感器具有標(biāo)準(zhǔn) AWM2000 系列的所有優(yōu)良性能,而且更加經(jīng)濟(jì)實(shí)惠。此裝置提供準(zhǔn)確、可重復(fù)的氣流傳感。傳感器與傳感器的可互換性規(guī)格約是 AWM2000 系列的兩倍。
根據(jù)操作規(guī)范的要求,同時具備加熱器控制電路和傳感橋供電電路。這兩種電路不在傳感器電路板上,因此必須在應(yīng)用中提供。差分放大電路可能有助于提供輸出增益和/或?qū)㈦妷浩脤?dǎo)入傳感器輸出。
注意:產(chǎn)品損傷
AWM 系列微橋式氣體質(zhì)量流量傳感器不適用于測量液體流量,液體流過傳感器時會損壞傳感器。
補(bǔ)償溫度范圍
-25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F]
流量/壓力范圍
1000 sccm (1.0 SLPM) 至 -600 sccm
±200 sccm
±10.0 mbar [4.0 H20]
電源電壓
最小 8.0 Vdc,典型值 10.0 Vdc,最大 15.0 Vdc
UNSPSC 代碼
41111931
沖擊
100 g 峰值 (5 drops, 6 axes)
零位
±1 mV dc
輸出溫漂
±4% 滿量程
±22% 讀數(shù)
端口類型
直
傳感器電流
典型值 0.3 mA,最大 0.6 mA
信號調(diào)節(jié)
非放大式 (mV)
UNSPSC 商品
41111931 流量傳感器
可重復(fù)性
±1% 滿量程
調(diào)整點(diǎn)的輸出電壓
20.0 mVdc,水中 2.0
100 sccm 時,30.0 mV dc
650 sccm 時,50.0 mV dc
存儲溫度
-40°C 至 90°C [-40°F 至 194°F]
介質(zhì)兼容性
僅干燥氣體
重量
10.8 g
系列名稱
AWM1000
功耗
典型值 30 mW,最大 50 mW
工作溫度
-25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F]
整個溫度范圍內(nèi)的零位
±0.7 mV dc(最大)
響應(yīng)時間
典型值 1 ms,最大 3 ms
共模壓力
25 psi
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