實(shí)的測(cè)定功能
使用一臺(tái)即可進(jìn)行反射率、膜厚、物體顏色、透過(guò)率、入射角45度反射率的各種分光測(cè)定。
測(cè)定反射率
測(cè)定以物鏡聚光的Φ17~70μm的微小點(diǎn)的反射率。
反射率測(cè)定光路圖 | |
反射率測(cè)定例:鏡片 | 反射率測(cè)定例:鏡片周邊部位 |
膜厚測(cè)定的圖例 | 測(cè)定膜厚活用反射率數(shù)據(jù),測(cè)定約50nm~約10μm的單層膜、多層膜的膜厚。 |
物體色的測(cè)定圖例 | 測(cè)定物體顏色根據(jù)反射率數(shù)據(jù)顯示XY色度圖、L*a*b*色度圖及相關(guān)數(shù)值。 |
測(cè)定透過(guò)率 (選配)
從受臺(tái)下部透過(guò)?2mm的平行光,測(cè)定平面樣品的透過(guò)率。
透過(guò)率測(cè)定光路圖 |
測(cè)定入射角為45度的反射率(選配)
從側(cè)面向45度面反射?2mm的平行光,測(cè)定其反射率。
45度反射率測(cè)定光路圖 |
域的高精度&高速測(cè)定
光學(xué)系圖 | 實(shí)現(xiàn)高速測(cè)定使用平面光柵及線傳感器進(jìn)行全波長(zhǎng)同時(shí)分光測(cè)定,從而實(shí)現(xiàn)高速測(cè)定。 |
反射率測(cè)定圖例 | 十分適用于測(cè)定細(xì)小部件、鏡片的反射率新設(shè)計(jì)了可以在?17~70μm的測(cè)定區(qū)域中進(jìn)行非接觸測(cè)定的專(zhuān)用物鏡。通常的分光光度計(jì)不能進(jìn)行測(cè)定的細(xì)小電子部件或鏡片等的曲面,也可以實(shí)現(xiàn)再現(xiàn)性很高的測(cè)定。 |
消除背面反射光的原理 | 測(cè)定反射率時(shí),不需要背面防反射處理將專(zhuān)用物鏡與環(huán)形照明組合,不需要進(jìn)行被檢測(cè)物背面的防反射處理,就可測(cè)定最薄0.2mm的反射率*。*使用40×物鏡時(shí),在本公司的測(cè)定條件下進(jìn)行測(cè)定。 |
可選擇的膜厚測(cè)定方法
根據(jù)測(cè)定的分光反射率數(shù)據(jù)進(jìn)行單層膜或多層膜的膜厚解析??梢愿鶕?jù)用途選擇最佳的測(cè)定方法。
峰谷法膜厚解析經(jīng)過(guò)信息圖例 | 峰谷法這是一種根據(jù)測(cè)定的分光反射率值的峰值與低谷的周期性計(jì)算出膜厚的方法,對(duì)于測(cè)定單層膜是有效的。不需要復(fù)雜的設(shè)置,可以簡(jiǎn)單地求出。 |
傅里葉轉(zhuǎn)換法膜厚解析經(jīng)過(guò)信息圖例 | 傅里葉轉(zhuǎn)換法這是一種根據(jù)測(cè)定的分光反射率值的周期性計(jì)算膜厚的方法,對(duì)于單層膜及多層膜的測(cè)定有效。難以檢測(cè)出峰值及低谷等時(shí),可以幾乎不受噪音的影響進(jìn)行解析。 |
曲線調(diào)整法膜厚解析經(jīng)過(guò)信息圖例 | 曲線調(diào)整法這是一種通過(guò)推算測(cè)定的分光反射率值與根據(jù)某種膜構(gòu)造計(jì)算的反射率的差達(dá)到最小的構(gòu)造計(jì)算出膜厚的方法,對(duì)于單層膜及多層膜的測(cè)定有效。還可以進(jìn)行不會(huì)出現(xiàn)峰值及低谷的薄膜解析。 |
多樣化應(yīng)用
高速、高精度地應(yīng)對(duì)多樣化測(cè)定需求。
通過(guò)測(cè)定球面、非球面的鏡片、濾鏡、反射鏡等光學(xué)元件的反射率,進(jìn)行涂層評(píng)價(jià)、物體顏色測(cè)定、膜厚測(cè)定。數(shù)碼相機(jī)鏡片 |
適用于LED反射鏡、半導(dǎo)體基板等微小電子部件的反射率測(cè)定、膜厚測(cè)定。LED包裝 |
適用于平面光學(xué)元件、彩色濾鏡、光學(xué)薄膜等的反射率測(cè)定、膜厚測(cè)定、透過(guò)率測(cè)定。液晶彩色濾鏡 |
適用于棱鏡、反射鏡等45度入射產(chǎn)生的反射率測(cè)定。棱鏡 |
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