UHP,表盤(pán)尺寸 1" 和 1.3"
應(yīng)用
適用于氣體、液體、腐蝕性介質(zhì)以及腐蝕性環(huán)境中,滿足高純應(yīng)用的嚴(yán)苛要求
半導(dǎo)體和平板行業(yè)
氣體輸配系統(tǒng)
醫(yī)療氣體
Hook-up應(yīng)用
功能特性
壓力表內(nèi)無(wú)衛(wèi)生死角
內(nèi)部體積小,不易積落灰塵
緊湊型設(shè)計(jì)
氦氣泄漏試驗(yàn),泄漏率≤10-10 kPa·l/s
表殼內(nèi)外進(jìn)行電拋光,內(nèi)部光潔度 Ra < 0.25 μm (Ra < 10 μin)
描述
該微型膜片壓力表可滿足有限空間內(nèi)的高純應(yīng)用需求,如較小的集成氣棒和氣體箱。
“1”和“1.3”的表盤(pán)尺寸適用于壓力高達(dá)160 psi的氣體、液體和腐蝕性介質(zhì)。
微型膜片壓力表已通過(guò)氦氣泄漏測(cè)試,表殼內(nèi)部進(jìn)行電解拋光,符合純度標(biāo)準(zhǔn)。
該微型膜片壓力表可應(yīng)用于高純工況,因此適用于半導(dǎo)體和平板顯示屏行業(yè),各種氣體輸配系統(tǒng)以及醫(yī)療氣體。
微型膜片壓力表符合SEMATECH和SEMI標(biāo)準(zhǔn),高品質(zhì),可確保您的應(yīng)用需求。
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