FISCHERSCOPE? X-RAY XDV?-μSEMI專為半導(dǎo)體行業(yè)中的質(zhì)量控制而設(shè)計(jì),可全自動精確測量晶片上的微結(jié)構(gòu)。 整個自動化裝置是封閉的,非常適合在潔凈室使用。 FOUP和SMIF吊艙可以自動對接至測量系統(tǒng)。 XDV-μ SEMI內(nèi)部的處理和測量完全無需人工干預(yù)。 通過模式識別功能,X-RAY 可以精確可靠地定位到指定的測量位置。 這種自動測量過程排除了手工處理造成的損壞和污染,并確保了檢驗(yàn)有價值的晶圓的高速率。
特點(diǎn)
全自動晶圓處理和測試提升效率
XRF系統(tǒng)具有出色的檢測器靈敏度和高分辨率
XRF系統(tǒng)配備多毛細(xì)管光學(xué)元件,是全球測量微點(diǎn)技術(shù)的領(lǐng)先者
精確測試直徑達(dá)10μm的結(jié)構(gòu)
自動模式識別精確定位測量位置
多種操作模式;需要時可手動測量
靈活:擴(kuò)展底座可用于FOUP、SMIF和晶圓盒,適用于6英寸、8英寸和12英寸晶片
應(yīng)用
鍍層厚度測量
納米級金屬化層(UBM)
銅柱上的薄無鉛焊料蓋
極小的接觸面和其他復(fù)雜的2.5D / 3D 復(fù)合應(yīng)用
材料分析
C4和較小的焊點(diǎn)
銅柱上的無鉛焊料蓋
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