同軸流量測(cè)量
AWM5000 系列微橋氣體質(zhì)量流量傳感器采用文丘里管型流量外殼。該系列可測(cè)量速度高達(dá) 20升/每分(SLPM) 且最大壓降為 2.25' H2O 的氣流。微橋芯片直接與氣流接觸,大大減少了由于通氣孔或旁路堵塞引起的誤差。
堅(jiān)固、通用的封裝
堅(jiān)固的塑料封裝被設(shè)計(jì)為能承受最高 50 psi 的共模壓力,且小型傳感元件能承受 100 g 的沖擊,而不會(huì)影響性能。隨附的“AMP”兼容連接器可提供超可靠的連接,適用于要求嚴(yán)苛的應(yīng)用。
內(nèi)置信號(hào)調(diào)節(jié)
每個(gè) AWM5000 傳感器都包括可執(zhí)行放大、線性化、溫度補(bǔ)償和氣體標(biāo)定功能的電路系統(tǒng)。無(wú)論流量范圍 (5、10、15 或 20 SLPM) 或校準(zhǔn)氣體(氮?dú)狻⒍趸?、一氧化二氮或氬氣)如何,所有產(chǎn)品都可能達(dá)到 1 至 5 Vdc 的線性輸出。主動(dòng)激光可進(jìn)行所有校準(zhǔn)。
補(bǔ)償溫度范圍
0°C 至 50°C [32°F 至 122°F]
流量/壓力范圍
0 SLPM 到 5.0 SLPM
0 SLPM 到 10.0 SLPM
0 SLPM 到 15.0 SLPM
0 SLPM 到 20.0 SLPM
響應(yīng)時(shí)間
最大 60 ms
電源電壓
最小 8.0 Vdc,典型值 10.0 Vdc,最大 15.0 Vdc
UNSPSC 代碼
41111931
沖擊
峰值為 100 g,半正弦為 6 ms(3 次下降,每次沿著 3 軸方向)
輸出溫漂
±7% 讀數(shù)
±10% 讀數(shù)
零位
最小 0.95 Vdc,典型值 1 Vdc,最大 1.05 Vdc
端口類(lèi)型
1/4 英寸 - 18 NPT
信號(hào)調(diào)節(jié)
放大
可重復(fù)性
±0.50% 讀數(shù)
UNSPSC 商品
41111931 流量傳感器
調(diào)整點(diǎn)的輸出電壓
20 SLPM 時(shí)為 5.0 Vdc
5 SLPM 時(shí)為 5.0 Vdc
15 SLPM 時(shí)為 5.0 Vdc
10 SLPM 時(shí)為 5.0 Vdc
存儲(chǔ)溫度
-20°C 至 70°C [-4°F 至 158°F]
介質(zhì)兼容性
僅干燥氣體
重量
60 g
系列名稱(chēng)
AWM5000
功耗
最大 100 mW
工作溫度
-20°C 至 70°C [-4°F 至 158°F]
整個(gè)溫度范圍內(nèi)的零位
典型值 ±0.050 Vdc,最大 ±0.20 Vdc
共模壓力
50 psi
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