FISCHERSCOPE? XDV?-μ光譜儀是Fischer的高端X射線熒光系列,專為在最小的結(jié)構(gòu)上進(jìn)行精確的鍍層厚度測(cè)量和材料分析而開(kāi)發(fā)。所有儀器都配備了一個(gè)多毛細(xì)管光學(xué)元件,可將X射線束聚焦到10μm(FWHM)。與采用準(zhǔn)直器的光學(xué)元件相比,多毛細(xì)管光學(xué)元件可以產(chǎn)生高輻射強(qiáng)度,從而大大縮短了測(cè)量時(shí)間。
所有FischerXRF儀器均配有功能眾多的WinFTM軟件,可在較高的精確度下測(cè)量各種應(yīng)用。WinFTM還有一個(gè)集成的報(bào)表生成工具,您只需單擊一下就可以創(chuàng)建單個(gè)報(bào)表。此外,WinFTM軟件還提供了向?qū)缘男?zhǔn)。
XDV-μ設(shè)備通過(guò)濾波器,電壓和電流設(shè)定的系列組合,允許您為多達(dá)24個(gè)元素的復(fù)雜應(yīng)用創(chuàng)造最佳的激勵(lì)條件。此外,XDV-μ配備了一個(gè)可編程的XY工作臺(tái)和模式識(shí)別軟件,很容易自動(dòng)測(cè)量多個(gè)樣品。
標(biāo)準(zhǔn)版本XDV-μ配備了鎢X射線管,用于常規(guī)應(yīng)用的高精度測(cè)試。也可根據(jù)需要選擇鉬和鉻射線管。
XDV-μ儀器配備了一個(gè)大面積硅漂移探測(cè)器(有效面積50 mm2)和新型的數(shù)字脈沖處理器(DPP+)。這些組件一起使用時(shí),可以實(shí)現(xiàn)很高的計(jì)數(shù)率,這有助于最小化測(cè)量時(shí)間,同時(shí)優(yōu)化重復(fù)性。
特殊應(yīng)用的專用儀器
XDV-μ系列包括專門為電子和半導(dǎo)體行業(yè)的特定應(yīng)用量身定制的專用機(jī)型。例如,XDV-μLD是定制用于組裝好的的PCB上進(jìn)行測(cè)量,XDV-μWafer具有自動(dòng)晶片吸盤,并且XDV-μLEAD frame針對(duì)測(cè)量引線框架鍍層優(yōu)化設(shè)計(jì)的。
為了能以最少的時(shí)間測(cè)量最微小結(jié)構(gòu)的樣品,我們開(kāi)發(fā)了FISCHERSCOPE? X-RAY XDV?-μ 系列儀器。大面積硅漂移探測(cè)器及多毛細(xì)管透鏡確保了在測(cè)量諸如鍵合面、表面貼裝器件及細(xì)線等樣品時(shí)的高準(zhǔn)確性和高重復(fù)性。這樣就能對(duì)印制線路板上的鍍層厚度進(jìn)行長(zhǎng)時(shí)間且高精度的監(jiān)控。
FISCHERSCOPE? X-RAY XDV?-μ LD 型儀器是您測(cè)量大尺寸樣品的理想儀器。由于測(cè)量距離可達(dá)12mm,即使是裝配了元器件的PCB也可輕松測(cè)量。
配鎢鈀的微聚焦透鏡;鉬靶可選
4個(gè)可靈活切換的初級(jí)濾波器
專為以短時(shí)間測(cè)量小尺寸點(diǎn)而設(shè)計(jì)的多毛細(xì)管透鏡 (10 – 60 μm FWHM)
20或50 mm2 有效面積的硅漂移探測(cè)器
3種放大倍數(shù)視頻顯示,用于精確樣品對(duì)位
高精度可編程測(cè)量平臺(tái),適用于全自動(dòng)測(cè)量
引線框架測(cè)量可信賴的專家。借助 FISCHERSCOPE? X-RAY XDV?-μ LEAD frame,您可以在平面樣品上,在納米范圍內(nèi)高精度測(cè)量超薄鍍層的厚度。典型應(yīng)用包括CuFe基體上的Au、Pd和Ni厚度測(cè)量。同時(shí),這一X射線熒光儀器也十分適合用來(lái)測(cè)量NiP層中的P含量。
XDV-μ LEAD frame 配備了專為優(yōu)化低能量段信號(hào)而開(kāi)發(fā)的可切換初級(jí)濾波器和多毛細(xì)管透鏡。從而為相應(yīng)的測(cè)量需求提供了理想的激發(fā)條件。
氦氣充填,可測(cè)量從Na開(kāi)始的輕元素
P多毛細(xì)管透鏡
高性能Cr靶射線管
4個(gè)可自動(dòng)切換的濾波器
高分辨CCD彩色攝像頭,帶校準(zhǔn)標(biāo)尺的十字線,可調(diào)節(jié)的LED亮度及用于樣品定位的激光標(biāo)記(class 1)
硅漂移探測(cè)器
快速、可編程XY平臺(tái),帶有彈出功能和電驅(qū)動(dòng)Z軸,可用于自動(dòng)化測(cè)量
特點(diǎn)
同時(shí)測(cè)量從Al(13)到U(92)的多達(dá)24個(gè)元素,XDV-μLD:S(16)-U(92)
先進(jìn)的多毛細(xì)管光學(xué)系統(tǒng),可將X射線束聚焦到10μm(FWHM),用于微結(jié)構(gòu)測(cè)量
可編程XY工作臺(tái)和模式識(shí)別,用于多個(gè)樣品的自動(dòng)測(cè)量
擴(kuò)展樣品臺(tái)方便樣品的定位
向?qū)叫?zhǔn)過(guò)程
穩(wěn)健設(shè)計(jì)適合長(zhǎng)期使用
光學(xué)顯微鏡(放大270倍),顯示圖像和激光定位點(diǎn),可顯示精確的測(cè)量點(diǎn)
無(wú)需校準(zhǔn)即可進(jìn)行測(cè)量的基本參數(shù)分析
符合IPC-4552A、4553A、4554和4556,ASTM B568,ISO 3497標(biāo)準(zhǔn)
Fischer的認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)片可追溯到國(guó)際公認(rèn)的基本單位
應(yīng)用
微米和納米范圍內(nèi)的Au/Pd/Ni/CuFe和Sn/Ni鍍層
組裝和未組裝電路板
納米范圍內(nèi)的基底金屬化層(bump metallization,UBM)的測(cè)試
測(cè)量輕元素,例如 測(cè)量金和鈀下的磷含量(在ENEPIG和ENIG中)
銅柱上的無(wú)鉛焊料蓋
測(cè)試C4和較小焊點(diǎn)的元素組成,以及半導(dǎo)體行業(yè)中的小接觸面
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